Se describe el procedimiento de preparación de rellenos de sílice con estructura jerárquica (micro, meso y/o macroporosa) en el interior de diferentes soportes (monolitos de cordierita tipo panal de abeja, conducciones de acero inoxidable, tubos de vidrio y capilares de sílice fundida) de diferentes diámetros (entre 0.25 y 7.28 mm) evitando totalmente el encogimiento de los mismos y mejorando sus propiedades. Todo ello depositando previamente a la síntesis del relleno de sílice una película delgada de sílice. Modificando dicha película delgada (microporosa o mesoporosa) se modifican las propiedades del relleno, obteniéndose unos resultados muy satisfactorios en el caso de la película delgada mesoporosa en todos los soportes estudiados.